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研磨抛光指南-抛光磨料

来源:本站       阅读量:66     时间:2022-08-11 13:09:41

图 3.13 单晶 a) 和多晶 b) 合成金刚石晶粒形状的比较(SEM,450X)。

图 3.13 单晶 a) 和多晶 b) 合成金刚石晶粒形状的比较(SEM,450X)。

抛光通常涉及使用以下一种或多种磨料:金刚石、氧化铝 (Al2O3) 和无定形二氧化硅 (SiO2) icollidal 悬浮液。对于某些材料,可以使用氧化铈、氧化铬、氧化镁或氧化铁,尽管这些是在 1920 年代后期,正如 Hoyt [7] 提到访问马萨诸塞州西林恩的 Carboloy 工厂时,他看到蓝宝石轴承正在抛光在油载体中带有金刚石粉尘。他使用其中的一些材料来制备烧结碳化物,并于 1930 年发表了这项工作。金刚石磨料首先被引入到载体糊中,但后来引入了气溶胶和浆料形式。最初使用的是原始天然钻石,现在仍以 MetaDi 钻石膏的形式提供。后来,人造金刚石被引入,首先是单晶形式,在形态上与天然金刚石相似,然后是多晶形式。MetaDi II 金刚石膏和 MetaDi 悬浮液使用合成单晶金刚石,而 MetaDi Supreme 悬浮液和 MetaDi Ultra 膏使用合成多晶金刚石。图 3.13 显示了单晶金刚石和多晶金刚石的形状差异。研究表明,与单晶金刚石相比,使用多晶金刚石的许多材料的切削率更高。

图 3.14 胶体二氧化硅中的无定形二氧化硅颗粒(TEM,300,000X)。

图 3.14 胶体二氧化硅中的无定形二氧化硅颗粒(TEM,300,000X)。

胶体二氧化硅首先用于抛光单晶硅晶片,在该晶片表面上的所有损伤都必须消除后,才能在其上生长器件。二氧化硅是无定形的,溶液的碱性 pH 值约为~10。二氧化硅颗粒实际上是接近球形的,图 3.14,抛光作用很慢,是由于化学和机械作用。在最终抛光过程中,使用胶体二氧化硅比使用其他磨料更容易产生无损伤表面。蚀刻剂对胶体二氧化硅抛光的表面的反应不同。例如,当用氧化铝抛光时产生晶粒对比蚀刻的蚀刻剂可能会在用胶体二氧化硅抛光时通过“平坦”蚀刻显示晶粒和孪晶边界。当使用胶态二氧化硅产生更令人愉悦的颜色范围和更清晰的图像时,颜色蚀刻剂通常会产生更好的响应。但是,样品的清洁更加困难。对于手工作业,请使用浸泡在清洁剂溶液中的一簇棉花。对于自动化系统,在循环结束前约 10-15 秒停止添加悬浮液。** 10 秒钟,用流水冲洗布面。然后,清洁更简单。如果允许蒸发,无定形二氧化硅将结晶。结晶二氧化硅会划伤样品,因此必须避免。打开瓶子时,清除开口周围可能形成的任何结晶颗粒。最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如 但是,样品的清洁更加困难。对于手工作业,请使用浸泡在清洁剂溶液中的一簇棉花。对于自动化系统,在循环结束前约 10-15 秒停止添加悬浮液。** 10 秒钟,用流水冲洗布面。然后,清洁更简单。如果允许蒸发,无定形二氧化硅将结晶。结晶二氧化硅会划伤样品,因此必须避免。打开瓶子时,清除开口周围可能形成的任何结晶颗粒。最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如 但是,样品的清洁更加困难。对于手工作业,请使用浸泡在清洁剂溶液中的一簇棉花。对于自动化系统,在循环结束前约 10-15 秒停止添加悬浮液。** 10 秒钟,用流水冲洗布面。然后,清洁更简单。如果允许蒸发,无定形二氧化硅将结晶。结晶二氧化硅会划伤样品,因此必须避免。打开瓶子时,清除开口周围可能形成的任何结晶颗粒。最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如 在循环结束前约 10-15 秒停止添加悬浮液。** 10 秒钟,用流水冲洗布面。然后,清洁更简单。如果允许蒸发,无定形二氧化硅将结晶。结晶二氧化硅会划伤样品,因此必须避免。打开瓶子时,清除开口周围可能形成的任何结晶颗粒。最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如 在循环结束前约 10-15 秒停止添加悬浮液。** 10 秒钟,用流水冲洗布面。然后,清洁更简单。如果允许蒸发,无定形二氧化硅将结晶。结晶二氧化硅会划伤样品,因此必须避免。打开瓶子时,清除开口周围可能形成的任何结晶颗粒。最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如 最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如 最安全的方法是在使用前过滤悬浮液。添加剂用于**限度地减少结晶,如MasterMet 2 胶体二氧化硅,大大延缓结晶。
对于常规检查,细金刚石磨料(例如 1µm)可能足以作为**的准备步骤。传统上,水性细氧化铝粉末和悬浮液,例如 MicroPolish II 解聚氧化铝粉末和悬浮液已用于使用中绒布进行最终抛光。α 氧化铝(0.3μm 尺寸)和 γ 氧化铝(0.05μm 尺寸)浆液(或悬浮液)在最终抛光中很受欢迎,无论是顺序抛光还是单独抛光。MasterPrep 氧化铝悬浮液采用溶胶-凝胶工艺制成的氧化铝,与传统煅烧工艺制成的氧化铝磨料相比,它可以产生更好的表面光洁度。煅烧氧化铝磨料总是表现出一定程度的团聚,不管如何去团聚,而溶胶-凝胶氧化铝则没有这个问题。MasterMet 胶体二氧化硅悬浮液 (~10pH) 是较新的最终抛光磨料,它结合了机械和化学作用,对难以制备的材料特别有益。振动抛光机,图 3.15,


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